GSCOP RUB Production 2022

Thèse Ingwild BAUDRY

Auteur : Ingwild BAUDRY
Directeur de thèse : Daniel BRISSAUD
Date : 14 octobre 2013


Caractérisation environnementale des procédés de fabrication microélectronique pour l'éco-conception des technologies.


L'industrie microélectronique est engagée depuis longtemps depuis dans des mesures visant à réduire ses impacts sur l'environnement, et ce sur toutes les phases du cycle de vie de ses produits. Sur les sites de fabrication, la suite logique à la mise en place de système de traitement des pollutions est l'anticipation de ces dernières. L'éco-conception des technologies microélectroniques, c'est-à-dire l'intégration de paramètres environnementaux dans leur processus de développement, permet de répondre à cet objectif.
Notre travail de recherche a pour but de caractériser environnementalement les procédés de fabrication microélectronique afin de proposer des outils et méthodes pour leurs concepteurs. Nous avons donc modélisé une technologie microélectronique, et associé des impacts environnementaux aux flux entrants et sortants. Cela nous a permis de proposer des indicateurs environnementaux destinés à la R&D et adaptés à un site de développement et de production microélectronique.